美国API XD激光干涉仪

美国API XD激光干涉仪

美国API激光干涉仪XD Laser的技术参数：

1．API激光干涉仪1D激光主要可以测量定位误差

2．API激光干涉仪3D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）

3．API激光干涉仪5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）、偏摆角、俯仰角和滚动角 

4．API激光干涉仪5D/6D标准型

美国API激光干涉仪5D/6D技术参数：

1) 线性：0.5ppm .

2) 测量范围：40米（1D可选80米）

3) 线性分辨力：0.001um.

4) 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值

5) 范围：800角秒

6) 滚动角精度：1.0角秒

7) 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值

8) 直线度范围：500um

9) 垂直度精度：1角秒

10) 温度精度：0.2摄氏度

11) 湿度精度：5%

12) 压力精度：1mmHg

激光干涉仪XD Laser的特点：

1．同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角

2．设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器

3．可选的无线遥控传感器的控制距离可到25米

4．可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。

5．全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架

6．集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间