美国API代理激光干涉仪信息

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XD Laser激光干涉仪

XD Laser激光干 涉仪，一次安装即可以测得6个参数,包括1个位置度误差、2个直线度误差和3个角度误差。

通常时间需数天进行的测试，使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成。实际应用结果表明:工作效率提升5倍。

该仪器体积小、重量轻，可以直接安装到机床导轨上。XD Laser 6D激光干涉仪主要由稳频激光器、干涉镜和6D传感器组成，

从激光器发出的激光光束经过干涉后，被6D传感器内的分光镜分成三束，一束光经锥角反射棱镜反射后返回干涉仪与参考光束相干涉产生干涉条纹，

经光学相位探测器识别后进行电子计数，记录长度位置。第二束光作直线度测量的参考光束，

传感器与参考光束之间的相对位移由装载传感器内的横向光电二极管测得。第三束光用作装在6D .

传感器内的小型光电测角仪的参考光源，用来测量角度误差(俯仰角和偏摆角)