美国API一维激光干涉仪

美国API一维激光干涉仪

API XD Laser激光干涉仪的测试方法：

API激光干涉仪直线度测量

 — 应用*的PSD技术：光电位置敏感检测器。它可将光敏面上的光点位置转化为电信号)

 — 不怕断光，可用于导轨的安装调试(类似于自准直仪)

 — 对直线度进行1:1的测量

 — 可一次性安装, 与线性误差一起测量, 方便, 快速

API激光干涉仪垂直度测量

—  API XD激光干涉仪是通过PSD技术1:1进行直线度测量的，所以API干涉仪测两轴垂直度时只需一个五角棱镜既可，

— 无需其他镜组装/调非常方便快速

— 在测两轴的垂直度的同时，两轴各自的线性定位误差、直线度，偏摆角、俯仰角都可一次测出，

— 大大节省了测量所占用机床的时间，也可避免人为差错。

API激光干涉仪偏摆角/俯仰角测量

— *的PSD技术来测量小角度: 当入射光经分光镜射到凸透镜上后，如果轴无角度变化，则光线经透镜聚在焦点上；

— 如果轴有角度变化，则光线会在焦平面上的PSD光靶上得到两个方向的坐标值，从而与焦距比较得出角度值。

— 测量角度过程中不怕断光, 可用于导轨的安装调试。不受滚动角的影响，调整光路容易 。