TALYSURF PGI400轮廓仪

1. 泰勒霍普森轮廓仪扫描箱

(1) 测量长度： 0.1mm-120mm

(2) 驱动： 可使用操纵杆或计算机驱动

(3) 直线度： 0.06µm +0.0037µm/mm * 水平移动长度(mm)

泰勒霍普森轮廓仪可选择基准校正

(4) 移动速度： 0.5/1.0/2.5/5.0/10.0mm/秒

2. 泰勒霍普森轮廓仪机动立柱

(1) 材料： 环氧花岗岩

(2) 扫描箱移动高度： 450mm(标准)

(3) 驱动： 可使用操纵杆或计算机驱动

(4) 垂直移动速度： 0.3/0.5/1.0/2.0/5.0/10.0mm/秒

(5) 扫描箱倾斜： ±9º，机动

3. 泰勒霍普森轮廓仪基架和、基座和防震垫

(1) 工作台材料： 环氧花岗岩

(2) 工作台尺寸： 760×500×120mm

(3) 带气浮防震，台面上有两个T型槽

4. 泰勒霍普森轮廓仪传感器

(1) 类型： 位相光栅干涉

(2) 测量量程： 4mm (使用60mm长金刚石测杆，同时测量粗糙度和轮廓)

8mm (使用120mm长球形测杆，测量轮廓)

(3) 分辨率： 4mm量程时12.8nm

(4) 量程与分辨率之比： 312,000:1

(5) 测量力： 1mN