API XD LASER激光干涉仪

API XD LASER激光干涉仪

API激光干涉仪基于高质量检测标准和针对以上各参数项的检测需求，使用XD LASER激光干涉仪，API激光干涉仪一次安装即可同时实现对：线性定位误差（定位精度、重复定位精度、反向间隙）、直线度误差（XX方向和YY方向）、垂直度误差、以及角度误差（俯仰角、偏摆角、滚动角）的检测（如图2示意），测量效率较传统激光干涉仪提升五倍以上！

XD LASER激光干涉仪特征特点

01 API激光干涉仪实现线性定位误差测量：包括定位精度、重复定位精度、反向间隙；

02 API激光干涉仪实现直线度测量：包括垂直于运动轴方向的两个方向（竖直、水平）的直线度；

03 API激光干涉仪实现角度测量：运动中的俯仰角、偏摆角、滚动角；

04一次安装可同时测量上述参数，无需更换光学组件，效率较传统干涉仪提高五倍以上；

05直线度和角度测量中不怕断光，可以替代准直仪使用，对安装进行指导调整；

06安装灵活方便，可以选择多种安装方式，即使在※苛刻的拥挤环境也可便捷使用；

07精密型可选，充分满足工厂及实验室使用需求。

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