美国爱佩仪6D激光干涉仪

美国爱佩仪6D激光干涉仪

API激光干涉仪技术参数：

5D/6DAPI激光干涉仪标准型： 

1. 爱佩仪激光干涉仪线性：0.5ppm 

2. 测量范围：40米（1D可选80米） 

3. 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值 

4. 大范围：800角秒 

5. 滚动角精度：1.0角秒 

6. 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值 

7. 大范围：500um 

8. 垂直度精度：1角秒 

9. 温度：0.2摄氏度 

10.湿度：5% 

11.压力：1mmHg 

5D/6DAPI激光干涉仪精密型： 

1. 线性：0.2ppm 

2. 测量范围：25米 

3. 偏摆角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%显示较大值 

4. 大范围：400角秒 

5. 滚动角精度：0.5角秒 

6. 直线度精度：（0.5+0.1/m）um或1%显示较大值 

7. 大范围：300um 

8. 垂直度精度：0.5角秒 

9. 温度：0.1摄氏度 

10.湿度：3% 

11.压力：0.3mmHg 

5D/6DAPI激光干涉仪高精密型： 

1. 线性：0.2ppm 

2. 测量范围：根据用户要求而定 

3. 偏摆角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒 

4. 大范围：500角秒 

5. 滚动角精度：0.5角秒 

6. 直线度精度：（0.2+0.05/m）um 

7. 大范围：100um 

8. 垂直度精度：0.5角秒 

9. 温度：0.1摄氏度 

10.湿度：3% 

11.压力：0.3mmHg