粗糙度测量仪的工作原理:基于针迹原理的表面粗糙度测量仪由传感器、驱动器、零位指示器、记录器和电感传感器组成,电感传感器是轮廓仪的主要部件之一。传感器测量杆的一端安装有金刚石触针,触针顶端的曲率半径R很小。测量时,触针置于工件上,与被测表面垂直接触,传感器由驱动器以一定速度拖动。由于被测表面轮廓的起伏,接触形状在被测表面上滑动时会上下移动。这种运动使磁芯通过支点同步上下运动,从而改变磁芯周围两个差动电感线圈的电感。传感器的线圈和测量电路直接接在平衡电桥上,线圈电感的变化使电桥失去平衡,于是输出一个与触针位移成正比的信号。这种微弱电量的变化经过电子设备的放大和相敏检测后,就得到可以指示触控笔位移和方向的信号。之后信号分三路:一路加零表指示唱针位置,另一路输入DC功放,放大后驱动录音机录音;另一路经平均值表的放大器滤波放大后,进入积分计算器进行积分计算,这样表面粗糙度Ra值就可以由指示表直接读出。
测量范围:S116:200μm, S128:400μm
分辨率:最小5nm(0.005μm)
传感器类型电感
探头下压力150~300mg
使用标准:ISO,ASME,JIS等
ISO4287基本参数:Ra,Rv,Rz,Rt,Rp,Rq,Rmr,Rpc,RSm,Rz1max
Rsk,Rdq
钻石尖半径:缺省5μm 可选2μm、10μm