伴随着制造产业如:液晶面板、太阳能光伏、锂电新能源、激光、贴装、半导体、医疗制造、精密喷绘、精密检测、点胶等行业的兴起或进阶,带来了庞大的精密自动化设备需求;为匹配制造业相应技术要求,自动化设备的制造及标定技术标准也在不断提升;这其中,无论是在生产制造过程中的测量检测、还是在设备服役期间的校准标定,都是重中之重的环节,为自动化设备的稳定运行提供最坚实的保障。
除了安装过程中需要严格控制直线度、垂直度、平行度以外,安装完毕后,直线电机运动的线性误差(定位精度、重复性)、小角度(偏摆角、俯仰角、滚动角)等数据也需要得到充分关注。而使用传统检测手段实施这些误差参数的检测,往往耗时耗力、且精准度和客观性难以得到最佳保障。