MARSURF M300技术参数
MARSURF M300工作原理 触针法
MARSURF M300移动速度 0.5mm/s
MARSURF M300测量范围 350um(0.014in)
轮廓分辨率 90um,180um,350um(自动转换)
8nm,16nm,32nm(自动转换)
过滤器类型 Gau -Filter,Ls-Filter
移动长度依据DIN/ISO 1.75/5.6/17.5mm
(0.07/0.22/0.70in)
依据ENISO 12085 1/2/4/8/16mm
评估长度 1.25/4/12.5mm
(0.05/0.16/0.5in)
取样长度段数 1-5可选
标准 DIN/ISO/JIS/ASME
测量参数 DIN/ISO:Ra,Rq,Rz,Rmax,RP,RPk,Rk,Rvk,RV
JIS:Ra,RZ,RzJIS,S
ASME:Rp,Rpm
MOTIF:R,Ar,Rx,W,CR,CL,CF