XD激光干涉仪的相关知识

 　　激光干涉仪是利用激光作为长度基准，对数控设备（加工中心、三座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。
　　XD激光干涉仪体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上，XD激光干涉仪主要由稳频激光器，干涉镜和6D传感器组成，从激光发出的激光光束经过干涉后，被6D传感器内的分光镜分成三束，一束光经维角反射棱镜反射后返回干涉干涉仪与参考光束相干涉产生干涉条纹，经光学相位探测器识别后进行电子计数，记录准确的长度位置，束光作直线度测量的参考光束，传感器与参考光束之间的相对位移由装载传感器内的横向光电二极管测得，第三束光用作装在6D传感器内的小型光电测角仪的参考光源，用来测量角度误差(俯仰角和偏摆角)。
　　为了保证激光光束的稳定性，测量仪在结构的设计以及激光器的选择方面都做了仔细周密的考虑，以使测量仪的横向和角度漂移量都降到小，从而保证测量仪的长期稳定性，测量仪配有自动气压，环境温度补偿器，自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响。测量仪还配有站们设计的多重数字滤波器，使由空气波动及温度梯度引起的测量误差降到低。