API激光干涉仪操作说明

API激光干涉仪操作说明

API激光干涉仪安装步骤：

➢首先将激光干涉仪放置于所需测量机器的工作平台，让激光照射的方向大致与所测轴运动方向平行。

➢打开激光干涉仪下面的磁力座开关(如平台非铁件,需安装- -铁板以便磁力座更好的吸附)。

➢将机器所测量轴移动至近处软限位位置。

➢将1D/3D 反射镜镜面朝向干涉仪方向并安装在机器运动状态下稳定不会晃动的零部件上。(反射镜与干涉仪均可作为运动测量)

➢激光干涉仪与反射镜安装完毕后，检测测量轴在做全程运动时能有效的接收激光照射且不会碰到反射镜及机器的任意部件。